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光刻膠晶圓光電塗布機,支持非標定製,一對一出方案。

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功能模式:狹縫、微凹、刮刀
設(shè)備尺寸(mm):3000*1600*2000
基材寬度(mm):20-350
塗布速度(m/min):Max.30
塗(tú)布濕厚(mm):0.005-0.3
塗布溶液固含量(%):1-60
塗布溶(róng)液粘度(dù)(cps):1-10000
烘箱溫控(kòng)(℃)20-120


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