2025-03-28 13:51:23門(mén)頭溝(gōu)玻璃(lí)塗布機納米級精(jīng)密塗覆解決方案的技術突破
產品定位與技術框架(jià) 玻璃塗布機是麵向泛半導體、新能源及光學精密(mì)製造(zào)領域的薄膜沉(chén)積(jī)關鍵設備,基於氣浮式直線電機驅動、多軸聯動閉環控製及在線膜(mó)厚(hòu)監測係統,實現從納米級(50-500nm)至微米級(1-200μm)塗層的全範圍精(jīng)密塗布(bù)。設備符合(hé)IEC 61340-5-1靜電防護標準及(jí)S......
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