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行業動態

玻(bō)璃塗布(bù)機(jī)納米級精密塗覆解決方案的技術突破

作者(zhě): 發布時間:2025-03-28 13:51:23點擊:59

信(xìn)息摘要:

 產(chǎn)品定位與技術框架  
玻璃塗布機是(shì)麵向泛半導體、新(xīn)能源及(jí)光學精密製造領域的薄膜沉(chén)積關鍵設備,基於氣浮式直線電機驅(qū)動(dòng)、多軸聯動閉環控製及在線膜厚監測係(xì)統,實現從納米級(50-500nm)至微米級(jí)(1-200μm)塗層的全範圍精(jīng)密塗布(bù)。設備符合IEC 61340-5-1靜(jìng)電(diàn)防(fáng)護標準(zhǔn)及SEMI S2潔淨室兼容要(yào)求(qiú),可無(wú)縫對接PVD/CVD前道工序,滿足OLED顯示玻璃、鈣鈦(tài)礦光伏(fú)組件、固態電池電解質(zhì)膜等新興產業的塗(tú)覆工藝需求。  


核心(xīn)技術解析
1.亞微米級塗布精度(dù)控製
 采用高剛性直線模組(重複定位精度±0.5μm)搭配動態壓力傳感器(采樣頻率10kHz),實現塗布模(mó)頭(tóu)與基材(cái)間隙的(de)實時反饋補償,確保塗層厚度波動≤±1.5%。  
 可選配超聲霧化噴塗(tú)(適用於低粘度UV膠)或狹(xiá)縫擠壓式塗布(適配粘度範圍0.5-50,000cP),支(zhī)持(chí)梯(tī)度塗層與多材料共擠(jǐ)成型,滿足TGV玻璃通孔填充、量子點色轉換層(céng)等複雜結構製備。  

2.智能化(huà)工藝管理係統
 集成工業級(jí)SCADA控製係統(支持OPC UA協議),內置塗布路徑優化(huà)算法與缺陷自診斷(duàn)模塊,可實時(shí)監測塗布速度(0.1-500mm/s無極調速(sù))、環境溫(wēn)濕度(±0.5℃/±3%RH控製)及塗料流變(biàn)特(tè)性(Brookfield粘度計數據直連)。  
 配置在線橢偏儀(測量精度0.1nm)與紅外熱成像係統,實現(xiàn)塗層厚度、折射率及固化溫度的同步閉環調控,確保工藝穩定性達到CPK≥1.67。  

3.綠色製(zhì)造與能(néng)效升級(jí)
 采用全封閉式負壓腔體設計(潔淨度Class 1000),搭載溶劑回收係統(回收率≥95%)與UV-LED固化模塊(波長365-405nm,輻照強度2000mW/cm²),VOCs排放量<10mg/m³
 通過熱(rè)流道優化設(shè)計降低能耗(hào)30%,單機(jī)日產(chǎn)能達3000片(piàn)(以G8.5代玻璃基板計),MTBF(平均無故障時間)超5000小時。  




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