無塵室中(zhōng)不論外麵的空氣條件如何發(fā)生(shēng)變化,室內都可(kě)以(yǐ)維(wéi)持原先(xiān)所設定要求的潔淨度、溫濕度及壓力等性能。
無塵室最主要的(de)作用就是控製產品(如矽芯(xīn)片等)與所接觸大氣的潔淨度及溫濕度,使產品能在一個良好環境(jìng)中生產、製造,這(zhè)樣的空間(jiān)我們(men)叫做無塵(chén)室。按照國際上的規定,無塵淨化級別主要是根(gēn)據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂(wèi)的無塵(chén)並非百分之百意義上沒(méi)有一點灰塵,而是將灰塵量控製在一個非常微(wēi)量(liàng)的單位(wèi)上。當然(rán)這個標準中符(fú)合灰(huī)塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的不能再小了,但是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會(huì)產生非常大的負麵影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必需的要求。
每(měi)立方米將大於0.5微(wēi)米粒徑的微塵數量控製在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產加工的無塵標(biāo)準對於灰塵的要求(qiú)高於A級,這樣的高標主要被(bèi)應用在一些(xiē)等級較高的芯片生產上。微塵數量被嚴格控製在每立方米1000個以內,這也就是業內俗(sú)稱的1K級別。
用途分類:
⑴、工業無塵室
主要以無生命微粒的(de)控製為對象。主(zhǔ)要控製(zhì)空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持(chí)正壓(yā)狀態。它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生(shēng)產)LCD(液晶玻璃)、電腦(nǎo)硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
⑵、生物無塵(chén)室
主要控製有生命微粒(細菌)與無生命(mìng)微粒(lì)(塵埃)對工作對象的汙染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控製微生物(細菌)對象的汙染。同時(shí)其內部材料要能夠(gòu)經受各種滅菌劑額侵蝕,內部一般保證正(zhèng)壓。實質上其內部材料要能經受各種(zhǒng)滅菌處(chù)理的工(gōng)業無塵室。例:製藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化(huà)妝品、飲料產(chǎn)品生(shēng)產、動物(wù)實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生(shēng)物學安全無塵室:主要控製工作對象的有(yǒu)生命微粒對外界和人的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物工程(重組基因、疫苗(miáo)製備)

